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지식재산 판매 | 유기물 코팅 채널을 가지는 전계효과 트랜지스터 제조방법

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작성자 이성 국제특허법률사무소 작성일19-02-13 11:49 조회2,864회 댓글0건

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지식재산종류특허국가한국
명칭           유기물 코팅 채널을 가지는 전계효과 트랜지스터 제조방법

권리자(출원인)

서울대학교 산학협력단 발명자이탁희, 박진수
출원일2017.06.22.출원번호10-2017-0079250
공개일2017.07.04.공개번호10-2017-0076638
등록일2017.09.15.등록번호10-1780737
지식재산 개요 및 특징

본 발명은 유기물 코팅 채널을 가지는 전계효과 트랜지스터 제조방법에 관한 것으로, 게이트 전극의 상부에 게이트 절연층을 형성하는 단계와, 게이트 절연층의 상부에 n형 물질로 이루어진 채널층을 형성하는 단계와, 게이트 절연층 및 채널층의 상부에 두 층으로 이루어진 ER층을 형성하는 단계와, 두 층으로 형성된 ER층 중에서 게이트절연층 상단의 ER층 및 채널층 상단의 일부 ER층을 제거하는 단계와, ER층이 제거된 게이트 절연층의 상부에, 서로 이격되고 각각 상기 채널층의 양단과 접촉하는 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계와, 채널층 상단의 나머지 ER층을 제거하여 채널층 노출부를 생성하고 생성된 채널 노출부에 상기 소스 전극 및 드레인 전극의 두께보다 얇은 1~4nm의 두께의 p형 유기물을 코팅하여 유기물 코팅층을 형성하는 단계를 포함함을 특징으로 함.




지식재산 분야                                            

전자지식재산 단계연구개발 완료
지식재산 거래형태      권리양도/라이센싱지식재산 거래조건협의 후 결정


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